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潔凈室與半導體良品率

發布者:中建南方時間:2021-11-03

2016至2018年,國內半導體、顯示面板等行業掀起了一陣投資建廠的熱潮,也帶動對潔凈室系統工程的整體市場需求,在半導體關鍵核心技術和“卡脖子”領域,國內正在全力打造集成電路創新高地,而影響半導體生產的關鍵因素之一就是潔凈的生產環境,潔凈室環境將直接影響芯片制程工藝的良品率。



半導體器件的生產對生產環境要求很嚴,其涉及數百個制造工序,由于其生產技術的特殊性,它對生產環境,如溫度、濕度,潔凈度都有嚴格要求,這關系到晶圓生產的質量和壽命。半導體器件,尤其是高密度的集成電路,易受到各種污染的損害。半導體器件對污染的敏感度取決于較小的特征圖形的尺寸和晶片表面沉積層的薄度。



但空氣中本就充滿著塵埃,細小到肉眼不可見,而在半導體制程中,空間單位都是以微米計算,這些塵埃對于每個晶體管的體積就屬于較大顆粒,如若這些微粒黏附在制作半導體的晶圓上,可能會影響其精密的導線布局,破壞半導體器件的導電性能,造成電性短路或斷路。因此要保證半導體生產的良品率,必須要保證其生產環境的潔凈度。


潔凈室的潔凈度是以每立方米(或每立方英尺)空氣中的最大允許粒子數來確定,一般分為10級、100級、1000級、10000級及100000級。在工程上,一般是利用室內空氣的循環來保持生產區域的潔凈等級,空氣在嚴格控制溫度、濕度的前提下,經過過濾器過濾后進入潔凈室,而室內空氣經過回風系統離開潔凈室,再經過過濾器過濾后重新進入到潔凈室。


要達到潔凈室潔凈度的必要條件:


1、送風潔凈度:要保證送風潔凈度,需按照實際需求選配并安裝凈化系統所需的空氣過濾器,尤其是末端過濾器,一般100萬級可選用高中效過濾器,低于1萬級可選用亞高效或高效過濾器,1萬到100級可選用過濾效率≥99.9%的高效過濾器,100-1級可選用過濾效率≥99.999%的過濾器;



2、氣流組織:需根據潔凈室特性、凈化系統特性等選擇合適的送風方式,不同的送風方式各有利弊,需根據實際需求設計;


3、送風量或風速:足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣,根據不同的潔凈度要求而不同,當潔凈度要求較高時,適當增加換氣次數;


4、靜壓差:潔凈室需維持一定的正壓,保證潔凈室不受污染或少受污染,以維持其潔凈度。


潔凈室的設計是一個復雜的過程,以上只是小編對整個系統的一個簡要概述,實際一個潔凈室的產生,需要從前期的調研,中期的大量的冷熱負荷計算、風量平衡計算等,合理的工程設計、優化,工程安裝、調試,來確保整個系統的平衡、合理。深圳市中建南方環境股份有限公司專業從事潔凈室設計、凈化產品耗材的供應,為客戶提供一站式的凈化解決方案,提升產品良率!








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